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    Brant Monrad
    By Brant Monrad
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    Perish vorliegende Arbeit demonstriert die erfolgreiche Beschichtung plusieurs derzeit weltgr??ten Kollektorspiegels f��r expire EUVL durch einem Durchmesser von 660 millimeters (Abb. A single). Ium living room geforderten Reflexionsgrad von mehr wie 60 % auf dems Kollektor zu realisieren, wurde dieser mit einem hochreflektierenden Interferenzschichtsystem versehen. Perish Beschichtung ist mittels

    DC-Magnetronsputtertechnologie an der Beschichtungsanlage ?NESSY�� durchgef��hrt worden. Der erzielte Reflexionsgrad insulate bei mehr als 65 percent f��r Radien bis zu Two hundred and twenty millimeter. F��r Radien zwischen 230 millimeter sowie 330 mm nahm som Reflexionsgrad auf Fifty-eight Per-cent abs. Pass away angestrebte Wellenl?nge blieb ��ber pass away gesamte Kollektoroberfl?che konstant bei (12,55 �� 2,05) nm sowie liegt somit innerhalb der Spezifikation f��r die kommerzielle Nutzung. Collectors' Completes with regard to EUV Lithography Severe uv lithography (EUVL) will be the next generation lithogra phy technique running with the wavelength associated with Tough luck.Five nm (18 occasions Etoposide quicker compared to latest lithography programs), permitting semiconductor climbing for you to answers of 22 nm and also down below [1]. This kind of papers presents the effective finish in the world's most significant ellipsoidal collector hand mirror for EUV the radiation which has a dimension regarding 660 millimeters (Fig. A single). To experience the required optimum reflectivity of more than 65 %, the ellipsoidal enthusiast has been sprayed with

    a highly reflective, laterally ranked multilayer while using power magnetron sputtering system ��NESSY��. An optimal reflectivity in the sideways rated multilayer in excess of 65 percent ended up being achieved

    pertaining to radii smaller compared to Two hundred millimeters. With regard to radii among 230 mm and also 320 millimeter your reflectivity lessens down of Fifty-eight Percent. The precise wave length remains regular with (12.50 �� 3.05) nm in the complete enthusiast floor that is within your restricted features for top amount manufacturing. In ."Durch europ?ische Anordnungen wird som Fortschritt bei som Effizienz von Personenkraftwagen immer wieder forciert. Dies soll ma?geblich durch zwei Ma?nahmen erreicht werden. Einerseits kann durch einen konsequenten Leichtbau mit h?herfesten St?hlen und Leichtmetallen wie Aluminum eine Effizienzsteigerung erzielt werden. Andererseits werden immer ?fter Beschichtungen eingesetzt, ium Reibungsverluste zu reduzieren. Ein Beispiel, bei dem beide Ma?nahmen gleicherma?en eingesetzt werden, ist der Motorenbau. I'm Electric motor werden einerseits Leichtmetalle eingesetzt, other das Fahrzeuggewicht zu reduzieren, sowie Beschichtungen, other eine maximale Gewichtsreduzierung und einen verbesserten Wirkungsgrad zu erreichen. Thus werden thermische Spritzverfahren eingesetzt, ium perish Zylinderlaufbahn eines Leichtmetallmotorblocks vor Verschlei? zu sch��tzen. Um das tribologische Method f��r eine solche Zylinderlaufbahn zu optimieren, k?nnen neue mittels Actual Vapour Deposit (PVD) abgeschiedene D��nnschichten auf Kolbenringen perish Reibverluste reduzieren und geringeren Verschlei? gew?hrleisten.